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193nm格蘭·泰勒偏振器
193nm格蘭-泰勒偏振器 采用由空氣間隙隔開(kāi)的α-BBO雙折射晶體，消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問(wèn)題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值，是ArF準分子激光光刻和深紫外激光加工等應用中高精度偏振控制的理想選擇。 特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度深紫外透射
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