193nm格蘭激光棱鏡 采用高光學(xué)均勻性的EUV晶體,在窄帶內具有優(yōu)異的偏振穩定性。精密封裝減小光路偏差,適用于高精度深紫外激光檢測。
特征: 空氣隙 接近布魯斯特角切割 高極化純度 裝有逃生窗 適合高功率應用 |
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貨號 :
GLP-193產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規格:
| 材料: | EUV晶體 |
| 波長(cháng)范圍: | 193.368納米 |
| 消光比: | <1x10-4 |
| 并行性: | <1 弧分 |
| 表面質(zhì)量: | 20/10 |
| 光束偏差: | < 3弧分 |
| 波前失真: | λ/4@632.8nm |
| 損傷閾值: | >500 兆瓦/厘米2 |
193nm格蘭激光偏振器
| 零件編號 | 波長(cháng)范圍(nm) | 消光比 | 視場(chǎng)角(°) | CA fa(毫米) | 外徑(毫米) | 長(cháng)度±0.1(毫米) |
| GLP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 6.0 | 15.0 | 29.0 |
| GLP4008 | 8.0 | 25.4 | 31.0 | |||
| GLP4010 | 10.0 | 25.4 | 31.0 | |||
| GLP4015 | 15.0 | 30.0 | 38.6 | |||
| GLP4020 | 20.0 | 38.0 | 48.9 |
技術(shù)優(yōu)勢 193nm格蘭激光偏振器:
193nm 格蘭激光偏振片的技術(shù)優(yōu)勢包括高偏振純度,即使在廣角入射下也能保持穩定的性能。它們具有出色的熱穩定性,在寬溫度范圍內光學(xué)波動(dòng)極小。憑借強大的抗激光損傷能力,它們適用于高功率深紫外應用。它們與深紫外光學(xué)系統兼容且易于安裝,可完美滿(mǎn)足光刻和激光檢測等高精度應用需求。