193nm少級波片是深紫外波段偏振器件，可精確調控入射光偏振態(tài)，適用于光刻、激光科研等深紫外光學(xué)系統，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩定性與精度。
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特征： 厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值 高延遲均勻性 |
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貨號 :
WPL產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規格：
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材料:
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石英晶體
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直徑公差：
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+0.0, -0.1mm
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波前畸變:
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λ/8 @ 632.8nm
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延遲精度:
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λ/50
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平行度:
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<1″
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光潔度:
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20/10
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通光孔徑:
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>90%
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鍍膜：
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不鍍膜或按要求定制鍍膜
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標準波長(cháng):
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193.368nm
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193nm少級波片:
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半波片 P/N#
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四分之一波片 P/N#
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直徑(mm)
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WPL-210-193
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WPL-410-193
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10.0
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WPL-212-193
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WPL-412-193
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12.7
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WPL-215-193
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WPL-415-193
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15.0
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WPL-220-193
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WPL-420-193
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20.0
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WPL-225-193
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WPL-425-193
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25.4
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WPL-230-193
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WPL-430-193
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30.0
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WPL-235-193
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WPL-435-193
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35.0
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WPL-250-193
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WPL-450-193
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50.0
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193nm少級波片的技術(shù)優(yōu)勢：?
193nm少級波片通過(guò)優(yōu)化專(zhuān)為深紫外波長(cháng)的雙折射材料，并結合離子束精修工藝，實(shí)現了高幅度相位延遲，其核心優(yōu)勢包括在 193nm 波長(cháng)下相位誤差 <±1% 的高延遲精度 —— 離子束精修技術(shù)的應用大幅降低了材料光學(xué)厚度的微觀(guān)偏差，從而為準分子激光器等深紫外激光系統提供更精確的偏振控制。其緊湊結構無(wú)需復雜的級聯(lián)設計，非常適用于光刻系統中的集成深紫外光學(xué)模塊；較高的激光損傷閾值（>5 J/cm² @ 193nm）確保了其在高功率深紫外應用中的可靠性，而離子束精修形成的超光滑表面進(jìn)一步減少了高能激光照射下的局部能量聚集風(fēng)險。在深紫外光譜偏振測量系統中，經(jīng)離子束精修保障的穩定相位延遲使偏振度測量誤差控制在 2% 以?xún)?，為光刻膠表征、大氣臭氧層光譜分析等場(chǎng)景的高精度偏振分析提供了便利。
193nm格蘭-泰勒偏振器 采用由空氣間隙隔開(kāi)的α-BBO雙折射晶體，消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問(wèn)題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值，是ArF準分子激光光刻和深紫外激光加工等應用中高精度偏振控制的理想選擇。 特征： 空氣隙 接近布魯斯特角切割 高極化純度 深紫外透射
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193nm格蘭激光棱鏡 采用高光學(xué)均勻性的EUV晶體，在窄帶內具有優(yōu)異的偏振穩定性。精密封裝減小光路偏差，適用于高精度深紫外激光檢測。 特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度裝有逃生窗適合高功率應用
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洛匈棱鏡 類(lèi)似沃拉斯頓偏振器，將入射光束分離為尋常光線(xiàn)和非尋常光線(xiàn)，但非尋常光線(xiàn)直線(xiàn)透過(guò)，而尋常光線(xiàn)則以一定偏角透過(guò)。 特征： 光路無(wú)膠 高極化純度 適用于中低功率應用
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193nm空氣隙零級波片，無(wú)粘合層，結構穩定性強，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕，適合連續高功率激光工作，偏振控制穩定。 特征：空氣隙厚度0.3~1.5mm高損傷閾值AR鍍膜并安裝
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VUV激光定制偏振片系列工作波長(cháng)為193.368nm，覆蓋160-250nm波長(cháng)范圍。該系列產(chǎn)品包括VUV薄晶體偏振片、洛雄偏振片、格蘭偏振片、VUV廣角波片等。這些產(chǎn)品適用于各種激光應用場(chǎng)景，憑借其高精度和高可靠性，為真空紫外激光領(lǐng)域提供專(zhuān)業(yè)的偏振解決方案。無(wú)論是科研還是工業(yè)應用，都能滿(mǎn)足客戶(hù)對光學(xué)元件的嚴苛要求。有需求的客戶(hù)歡迎聯(lián)系我們。
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