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193nm少級波片

193nm少級波片是深紫外波段偏振器件，可精確調控入射光偏振態(tài)，適用于光刻、激光科研等深紫外光學(xué)系統，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩定性與精度。特征：厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值高延遲均勻性

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多級波片

多級波片意味著(zhù)光路的延遲除了分數設計延遲外，還會(huì )經(jīng)歷一定數量的全波長(cháng)偏移。多級波片的厚度通常在0.5毫米左右，與零級波片相比，多級波片對波長(cháng)和溫度變化更敏感。然而，它們價(jià)格更低，廣泛應用于對靈敏度要求不高的場(chǎng)合。特征：厚度：0.2-0.5mm 高損傷閾值更好的溫度帶寬低成本

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